Våre Varmejakkesystem gir nøyaktig og stabil temperaturkontroll (±0,5 ℃) for vakuum- og gassføringsslanger i halvleder-, CVD- og etsingsprosesser. Utformet for å forhindre kondens, avleiring og strømningshinder, sikrer dette systemet konsekvent prosessytelse og lengre utstyrslivslengde.
Tilgjengelig i flere materialvarianter for å tilpasse seg dine applikasjonsbehov:
Silikonskum
Full PTFE
PTFE-belegg
Utvidet ptfe
Systemet integrerer tre kjernekomponenter for å gi pålitelig og intelligent varmestyring:
Varmejakker – Tilpasset utformet for spesifikke rørlegginger og sporkrav.
PID-kontrollere – Sikrer temperaturstabilitet innenfor ±0,5 ℃, med dedikert RS485-kommunikasjon og Modbus RTU-protokoll.
HMI-kontrollskap – Sentralisert overvåkning og kontroll av flere oppvarmingssoner i sanntid.
Gassleveranselinjer – Opprettholder dugpunktstyring for farlige gasser som BCl₃, ClF₃, TEOS, DCS og WF₆.
CVD-prosesser – Stabiliserer forstadie-damptemperatur i LPCVD- og PECVD-systemer (±1 ℃).
Metalletsing – Sikrer konsekvent gassreaktivitet i plasmaetsing for aluminium, wolfram og andre materialer.
| Egenskap | Fordel |
|---|---|
| Presis kontroll | ±0,5 ℃ stabilitet med ISO 15805-sertifiserte PID-styringer. |
| Dobbelt sikkerhetssystem | Innebygd KSD30 termostat og termisk sikring i henhold til IEC 60691. |
| Miljøvennlig isolasjon | PFAS-fri, <5 % varmetap, plassert i elegant rustfritt stål. |
| Smart overvåking | Sanntidsstrøm per sone, MODBUS-TCP-integrasjon med HMI/SCADA. |
| Sentralisert ledelse | Kompatibel med InTouch, iFix og andre SCADA-plattformer for helhetlig systemovervåkning. |
Våre HMI-styringsskap konsoliderer alle varmejakker til ett grensesnitt, noe som muliggjør:
Sanntidsovervåkning av temperatur og status
Logging av historiske data og trendanalyse
Automatisert rapportering og alarmvarslinger (SMS, e-post, anrop)
Flere datamaskiner har tilgang og gjensidig sikkerhetskopiering
Reduserer vedlikeholdskompleksiteten og driftskostnadene
Støtter skalerbar utvidelse og nettverkshåndtering
Forbedrer prosessgjentakelighet og utbytte i kritiske applikasjoner
I overensstemmelse med internasjonale standarder for sikkerhet og ytelse
For å finne ut hvordan vårt varmejaktsystem kan optimalisere din termiske prosesshåndtering, ta kontakt med vårt ingeniørteam for en skreddersydd løsning.
