Kako odabrati grijajući kaput za kontrolu temperature u komori za etziranje

Kako odabrati grijajući kaput za kontrolu temperature u komori za etziranje

Biranje grijana Jakna za odabir komore za urezivanje nije isto kao i za odabir grijača za opštu upotrebu. Jakna mora da radi sa geometrijom komore, receptom temperature, kontrolnom arhitekturom i pregledom bezbednosti lokacije. Odgovarajući dizajn podržava stabilnu toplotnu granicu oko hardvera koji pokriva; ne zamjenjuje validaciju pune komore, obloge ili petlje kontrole procesa.

Počnite sa uslovima rada, onda suziti konstrukciju i kontrole. Ovaj pristup pomaže inženjeru opreme da izbjegne poznati problem: grejač koji dostiže temperaturu na klupi, ali proizvodi neujednačen odgovor, teško održavanje ili probleme sa integracijom nakon instalacije.

Počnite sa termalnim radom, ne sa materijalom jakne.

Napisati toplotnu dužnost u kratkom listu zahteva pre poređenja dobavljača. U slučaju da se ne primenjuje presjek, zabeleži se da je presjek u skladu sa standardnim standardima za presjek. Takođe, utvrdi šta je grijana Jakna u slučaju da se radi o prečišćavanju, potrebno je da se u skladu sa člankom 6. stavkom 2. Ovi slučajevi imaju različite kontaktne oblasti, gubitke i ograničenja pristupa.

Toplotno opterećenje zaslužuje istu pažnju kao i postavljena vrednost. Provodnici u okvirima, fitingi i obližnje cevi mogu povući energiju od mete. Radijacijski i konvekcijski gubici mogu imati značaja na izloženim sklopovima. Ako se proces promijeni protok gasa, pritisak komore ili stanje okolne opreme, te promjene mogu promijeniti odgovor koji kontroler vidi. Iz tog razloga, traženje samo nominalne snage rijetko daje potpuni izbor.

• Za određivanje dozvoljene temperaturne opseg na kontrolisanom mjestu.
• Napisimo stanje hladnog pokretanja, vrijeme ciklusa i očekivane poremećaje.
• Identifikujte sve komponente koje moraju ostati ispod svojih ograničenja temperature.
• Potvrdi da li je cilj održavanje toplote, kontrolisano uzdizanje ili oboje.

Umesto toga, radi se o tome da se radi na brzinu i na brzinu.

Jakna prenosi toplotu samo onoliko koliko joj omogućava interfejs. Mjerite opseg, ravne staze, prelaze flangea, vrata, spone, zagrade i zone isključenja. Obuhvat koji izgleda cilindrično na crtežu može imati izbočine koji stvaraju vazdušne praznine u instaliranom stanju. Ovi praznine mogu smanjiti prenos toplote i učiniti povratnu temperaturu manje reprezentativnom za površinu koju se kontroliše.

Uređene ili segmentirane industrijska grijalica može biti poželjno kada oprema ima uslužne sekcije, nepravilne profile ili nekoliko zona sa različitim toplotnim zadacima. U izboru treba navesti gde se mogu postaviti šavovi, vezivači, izlazi za olovku i tačke senzora. U tom dokumentu treba navesti i da li se omotač mora skinuti bez ometanja procesnih veza. Ovi detalji su praktični inženjerski ulazi, a ne kozmetičke opcije.

Izbor materijala prati stvarnu temperaturu, okolinu, metod čišćenja i mehaničku izloženost. Fleksibilni materijali za grijanje su često dostupni za usluge podignute temperature, ali objavljena sposobnost materijala nije univerzalna ocjena jakne. Izolacija, žice, zatvaranje, radijus savijanja, hemijska izloženost i kompletan sastav treba da se pregledaju u odnosu na planiranu dužnost.

Odluči da li je jedna zona dovoljna.

Jedna zona grijanja može raditi na kratkom, ravnomernom dijelu sa doslednim gubicima. To postaje manje uvjerljivo kada skup uključuje teške flange, različite provode cevi, različite nivoe izolacije ili toplotne dimnike u blizini ventila i podržava. U tim slučajevima, podijelite toplotni problem prije nego što podijelite grejač. Razmislite o odvojenih zona gdje nezavisno senzoriranje ili neovisno podešavanje snage smanjuje šanse za vruće ili hladne oblasti.

A. Šta je to? sa šljokovima u slučaju da je električna žica instalirana u blizini komore za urezivanje, treba je proceniti kao deo toplotne staze linije, a ne kao izolirani dodatak. Topla linija povezana sa hladnijim uređajem još uvijek može stvoriti lokalnu hladnu tačku. U slučaju da se doda toplina bez obzira na komponente gore i dole, može se pomeriti lokacija toplotnog ograničenja, a ne ukloniti ga.

Za svaku predloženu zonu, dokumentirajte područje grejanja, očekivanu putanju gubitka, lokaciju senzora, izlazak kontrole i pristup usluzi. Ove informacije daju kontrolnim i mehaničkim timovima zajednički format pregleda i čine kasnije otklanjanje problema direktnijim.

Specifikujte detekciju i kontrolu pre nego što izaberete paket kontrolera

Senzor bi trebao predstavljati temperaturu koja je važna za odluku o procesu ili opremi. Senzor postavljen samo pored grejačkog elementa može zaštititi grejač, ali ne može opisati spoljašnju površinu komore ili stanje fluida. Drugi senzor može biti koristan kada je potrebna nezavisna granica viška temperature ili tačka provjere.

Pitaj ga kako je grijana Jakna će se povezati sa upravljačem: tip senzora, dužina vodjenja, pristup uzemljenju, napajanje, način prekida, izlazi alarma i zahtjevi za komunikaciju. Potvrdi kako se postupa sa grešom senzora, otvorenim krugom, izgubljenom komunikacijom ili prekidom napajanja. Odgovor treba da bude kompatibilan sa interlockovima opreme i dokumentovanim očekivanjima odgovora na lokaciji.

Kontrola podešavanja takođe zavisi od konstrukcije. Debel, izolirani sastav sa visokom toplotnom masom reaguje drugačije od tankog omotača oko male cevi. Umesto da pretpostavite da će jedna postavka PID-a biti pogodna za svaku instalaciju, planirajte korak puštanja u rad koji potvrđuje stabilnost u reprezentativnim uslovima rada.

Pregledajte zajedno bezbednost, čistoću i održavanje

Izbor poluprovodničke opreme obično zahtijeva više od mogućnosti temperature. Projektni tim treba da pregleda električnu zaštitu, uzemljenje, zaštitu, usmeravanje olova, izlaganje površinskoj temperaturi, kompatibilnost materijala i ponašanje kada se pokvari. SEMI S2 se obično koristi kao referenca za zaštitu životne sredine, zdravlje i sigurnost za opremu za proizvodnju poluprovodnika zasnovanu na performansama. Može pomoći u postavljanju pitanja za kompletan pregled opreme, ali to nije dokaz da je pojedinačna jakna usklađena ili sertifikovana.

Čistoća i održavanje su jednako važni. U slučaju da je vozilo u stanju da se koristi, mora se utvrditi da je vozilo u stanju da se koristi u skladu sa standardima za upotrebu. Pitajte ga kako da ga uklonite, pregledate i ponovo instalirate bez da se napete kablovi ili da se u blizini komore ostave izolacijska vlakna, otpad ili labavi čvrstici. Ako će se skup čistiti, navedite dozvoljenu metodu i materijale koji je moraju podnositi.

Ne zaboravi dokumentaciju. Koristan paket za kupovinu može uključivati mehanički nacrt, mapu zone, dijagram žice, specifikacije senzora, električne vrijednosti, uputstva za instalaciju i provjere puštanja u rad. Tačni dokumenti zavise od projekta, ali je potreba za interfejsima koji se mogu pratiti dosledna.

Koristite praktičnu listu za poređenje dobavljača

U poređenju sa industrijska grijalica , traži od dobavljača da odgovore na iste operativne podatke, umesto da upoređuju kataloške opise. Ovo olakšava da se značajne razlike vide.

1. Termalno podešavanje: Na kojem se temperaturnom rasponu, očekivanoj rampi i procenjenim uslovima gubitka temelji prijedlog?
2. Mehanički prilagođen: Kako dizajn prilagođava ulaze, flange, podrske, lokacije senzora i pristup uklanjanju?
3. Uređaj za kontrolu: Koji su senzori, zone, granice, alarmi i interfejsi uključeni ili potrebni?
4. Materijali: Da li su materijali jakne, izolacija, zatvaranje i vodovi prikladni za lokalne uslove temperature i izloženosti?
5. Bezbednosna kabina: Koje zaštitne funkcije i dokumentacija podržavaju procenu bezbednosti na nivou opreme?
6. Službena pogodnost: Kako će se izvršiti instalacija, inspekcija, zamjena i ponovno puštanje u rad?

Preobrati izbor u inženjersku predaju

Najjači izbor je dokumentovana odluka o interfejsu, a ne samo kupovina grejača. Dajte dobavljaču nacrte kontrolisanih komponenti, recept za temperaturu, dostupnu snagu, preferirane lokacije senzora, obližnje komponente, ograničenja okoline i očekivanja integracije. U zamjenu, pregledajte predloženi raspored zone, način pričvršćivanja, izlaz kabla, postavljanje senzora i zaštitne funkcije sa zainteresovanim stranama iz oblasti mehaničkih, električnih, kontrola i EHS.

Za projekte koji kombinuju lokalno grejanje sa širim toplotnim upravljanjem, jakna treba pregledati zajedno sa strategijom hlađenja i kontrole temperature komore. Lingheng Thermal Control Technology (Suzhou) Co., Ltd. fokusira svoju tehničku komunikaciju na raspon temperature, toplotno opterećenje, medij, interfejse i koordinaciju kontrole tako da rasprave o toplotnoj opremi počinju sa radnim uslovima, a ne sa generičkom specifikacijom.

Uređaj za grijanje sa definisanim planom prihvatanja

Pre puštanja u proizvodnju, testirajte grijana Jakna u slučaju da se radi o prebacivanju na određene funkcije, radi se o prebacivanju na određene funkcije. Provjeriti da se temperatura grijača i izabrana kontrolisana lokacija ponašaju kako se očekuje tokom pokretanja, stabilnog rada i kontrolisanog isključivanja. Ovo je takođe pravo vrijeme da se potvrdi da su vodeni putovi, makljivi dijelovi i pristupne ploče i dalje u funkciji nakon što su izolacija i zaštita instalirani.

Za više zona industrijska grijalica , obavezno obavljaju pojedinačne operacije u svakoj zoni pre nego što se proceni kombinovana sekvenca. U slučaju da se ne primenjuje, mora se utvrditi da je u skladu sa člankom 6. stavkom 2. Ako je sa šljokovima u slučaju da se testiranje provodi na površini kabine, testni plan uključuje sve povezane instalacije i očekivane stanja protoka; samo zadovoljavajuće očitavanje na površini kabine ne uspostavlja jedinstveno toplotno stanje tokom celog puta.

Zaključak

Odabir grijana Jakna za kontrolu temperature u komori za etzovanje potreban je jasan pogled na toplotnu dužnost, geometriju, zonizaciju, detekciju, sigurnost i pristup servisu. Dobro definisan sa šljokovima ili komora jakna može podržati više kontrolisanih uslova, ali samo kada su njegova konstrukcija i kontrole provjerene u odnosu na stvarnu sredinu opreme. Prvo napravite list zahteva, pregledajte interfejse među disciplinama i koristite podatke o puštanju u rad za provjeru konačne instalacije.