Kako odabrati grijanje za kontrolu temperature u komori za etziranje

Kako odabrati grijanje za kontrolu temperature u komori za etziranje

Odabir grijana Jakna za odabir komore za urezivanje nije isto kao i za odabir grijača za opću upotrebu. Jakna mora raditi s geometrijom komore, receptom temperature, kontrolnom arhitekturom i pregledom sigurnosti lokacije. Odgovarajući dizajn podržava stabilnu toplinsku granicu oko hardvera koji pokriva; ne zamjenjuje validaciju pune komore, obloge ili petlje kontrole procesa.

Počnite s uvjetima rada, onda suziti konstrukciju i kontrole. Ovaj pristup pomaže inženjeru opreme da izbjegne poznati problem: grijanje koje dostiže temperaturu na klupi, ali uzrokuje neujednačen odgovor, teško održavanje ili probleme s integracijom nakon ugradnje.

Počnite sa termalnim radom, ne sa materijalom jakne.

U slučaju da se ne može utvrditi primjenjivo stanje, potrebno je utvrditi razinu toplotne potrošnje. U slučaju da se ne provodi ispitivanje, ispitivanje se provodi u skladu s člankom 6. stavkom 2. Također utvrditi što je grijana Jakna u slučaju da se u skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) ovog članka ne primjenjuje, to se može smatrati da je primjenjivo. Ovi slučajevi imaju različite kontaktne površine, gubitke i ograničenja pristupa.

Toplotno opterećenje zaslužuje istu pažnju kao i postavljena vrijednost. Provodnici u okvirima, fitingi i obližnje cijevi mogu povući energiju od mete. U slučaju izloženosti, radijacijski gubitak i konvekcijski gubitak mogu imati značaj. Ako se proces promijeni protok plina, tlak u komori ili stanje okolne opreme, te promjene mogu promijeniti odgovor koji kontrolar vidi. Zbog toga se rijetko postiže potpuni izbor ako se traži samo nominalna snaga.

• U slučaju da je to moguće, mora se utvrditi i utvrditi razina temperature.
• U nastavku navedite stanje hladnog pokretanja, vrijeme ciklusa i očekivane poremećaje.
• U slučaju da se ne primjenjuje, potrebno je utvrditi:
• Potvrdi je li cilj održavanje topline, kontrolirano uzdizanje ili oboje.

U skladu s temperaturom u komoru, u skladu s temperaturom u komoru,

Jakna prenosi toplinu samo onoliko koliko joj omogućava interfejs. Mjerite obim, ravne staze, prelaze flangea, vrata, spone, zagrade i zone isključenja. U slučaju da je otvorena, može se pojaviti izbočina koja stvara zračne rupe. Ti praznine mogu smanjiti prijenos toplote i učiniti povratnu temperaturu manje reprezentativnom za površinu koju se kontrolira.

Posebno ili segmentirano industrijska grijana jakna u slučaju da je oprema opremljena s različitim toplinskim zadatcima, može se koristiti za određivanje toplinske učinkovitosti. U slučaju da se ne primjenjuje presjek, to se može učiniti u skladu s člankom 6. stavkom 2. U skladu s člankom 6. stavkom 2. točkom (a) ovog pravilnika, proizvođač mora imati mogućnost da koristi i upotrebu sustava za upravljanje emisijama. Ovi detalji su praktični inženjerski ulazi, a ne kozmetičke opcije.

Izbor materijala temelji se na stvarnoj temperaturi, okolišu, metodi čišćenja i mehaničkoj izloženosti. Fleksibilni grijači često su dostupni za usluge podignute temperature, ali objavljena sposobnost materijala nije univerzalna ocjena jakne. Izolacija, žice, zatvaranje, radijusa savijanja, kemijska izloženost i kompletno sastavljen dizajn još uvijek trebaju pregled u odnosu na zamišljenu dužnost.

Odlučite je li jedna zona dovoljna.

Jedna zona grijanja može raditi za kratak, ravnomjeran dio s dosljednim gubicima. To postaje manje uvjerljivo kada skup uključuje teške flange, različite provode cijevi, različite razine izolacije ili toplinske odsječke u blizini ventila i podržava. U tim slučajevima, podijelite toplinski problem prije nego što podijelite grijanje. Uzmite u obzir odvojene zone gdje neovisno otkrivanje ili neovisno podešavanje snage smanjiće mogućnost vrućih ili hladnih područja.

A. odjeće za grijanje cijevi u slučaju da se radi o električnom sustavu koji se instalira u blizini komore za urezivanje, treba ga ocjenjivati kao dio toplinske staze linije, a ne kao izolirani dodatak. Topla cijev povezana s hladnijim uređajem još uvijek može stvoriti lokalnu hladnu točku. U skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) Uredbe (EZ) br. 765/2008 i člankom 3. točkom (b) Uredbe (EZ) br. 765/2008 i člankom 4. točkom (c) Uredbe (EZ) br. 765/2008 i člankom 4. točkom (c) Uredbe (EZ) br. 765/2008 i

Za svaku predloženu zonu, dokumentirajte područje grijanja, očekivanu putanju gubitka, lokaciju senzora, izlazak kontrole i pristup usluzi. Ova informacija daje upravljačkim i mehaničkim timovima zajednički format pregleda i kasnije rješavanje problema čini direktnijim.

U slučaju da je to potrebno, potrebno je odrediti opciju za upravljanje.

Senzor bi trebao predstavljati temperaturu koja je važna za odluku o procesu ili opremi. Senzori postavljeni samo uz grijanje mogu zaštititi grijanje, ali ne mogu opisati vanjsku površinu komore ili stanje fluida. U slučaju da je potrebno utvrditi graničnu vrijednost za pretjeranu temperaturu ili provjeriti točku, može se koristiti i drugi senzor.

Pitaj ga kako je grijana Jakna u slučaju da je to moguće, sustav će se uključiti u sustav za upravljanje: Potvrdi kako se postupa s kvarom senzora, otvorenim krugom, izgubljenom komunikacijom ili prekidom napajanja. Odgovor bi trebao biti kompatibilan s interlockovima opreme i dokumentiranim očekivanjima odgovora na mjestu.

Kontrola podešavanja također ovisi o konstrukciji. Debelo, izolirano sastav sa visokom toplinskom masom reagira drugačije od tankog odijela oko male cijevi. U slučaju da se ne primjenjuje jedan standardni sustav za identifikaciju, za svaki uređaj treba se utvrditi standardni standard za identifikaciju.

Zajedno razmotrite sigurnost, čistoću i održavanje

Izbor poluprovodničke opreme obično zahtijeva više od mogućnosti temperature. Projektni tim treba pregledati električnu zaštitu, uzemljenje, zaštitu, usmjeravanje olova, izlaganje površinskoj temperaturi, kompatibilnost materijala i ponašanje kada se nešto ne pokrene. Smernice za zaštitu okoliša i sigurnost za proizvodnju poluprovodnika To može pomoći u postavljanju pitanja za cjeloviti pregled opreme, ali to nije dokaz da je pojedinačna jakna usklađena ili certificirana.

Čistoća i održavanje jednako su važni. Ako je to moguće, provjerite da li je točno. Pitajte ga kako ga možete ukloniti, pregledati i ponovno ugraditi bez da se napete kablovi ili da u blizini komore ostave izolacijska vlakna, otpad ili loso vezivanje. Ako se sastav očisti, navesti dopuštenu metodu i materijale koji ga moraju podnijeti.

Ne zaboravite dokumentaciju. Koristan paket za kupnju može uključivati mehanički crtež, mapu zona, dijagram žice, specifikacije senzora, električne vrijednosti, uputstva za instalaciju i provjere puštanja u rad. Točni dokumenti ovisni su o projektu, ali potreba za tragabilnim sučeljaima dosljedna je.

Upotrijebi praktičan popis usporedbi dobavljača

U usporedbi s industrijska grijana jakna , zatraži od dobavljača da odgovore na iste operativne podatke umjesto uspoređivanja kataloških opisa. To olakšava uočavanje značajnih razlika.

1. Termalno prilagođavanje: Na temelju kojeg se raspona temperature, očekivanih uvjeta na rampama i procijenjenih uvjeta gubitka temelji prijedlog?
2. Svaka vrsta vozila: Kako se projektom prilagođavaju vrata, flange, podrske, lokacije senzora i pristup uklanjanju?
3. Uređaj za upravljanje: Koje su senzori, zone, granice, alarmi i sučelja uključeni ili potrebni?
4. Sastav materijala: U slučaju da je primjena ovog standarda uobičajena, može li se utvrditi da je primjena ovog standarda primjenjiva na sve proizvode koji se koriste za proizvodnju električne energije?
5. Svaka vrsta vozila: U slučaju da se utvrdi da je proizvod ili proizvod koji se koristi za proizvodnju opreme ili za proizvodnju opreme za proizvodnju opreme za proizvodnju opreme za proizvodnju opreme za proizvodnju opreme za proizvodnju opreme za proizvodnju opreme za proizvodnju opreme za proizvodnju opreme za proizvodnju opreme za proizvodnju opreme za proizvodnju opreme za proizvodnju opreme za proizvodnju opreme za proizvodnju
6. Prilagođenost usluzi: Kako će se provoditi instalacija, inspekcija, zamjena i ponovno puštanje u rad?

Pretvorite izbor u inženjerski predaju

Najbolji izbor je dokumentirana odluka o interfejsu, a ne jednostavno kupnja grijala. Ako je to moguće, potrebno je osigurati da se u skladu s tim kriterijima ne dovode u pitanje pravila o zaštiti podataka. U zamjenu, pregledajte predloženi raspored zone, metodu pričvršćivanja, izlaz kabla, postavljanje senzora i zaštitne funkcije s zainteresiranim stranama iz područja mehaničkog, električnog, upravljačkog i EHS-a.

U slučaju projekata koji kombiniraju lokalno grijanje s širim toplinskim upravljanjem, zaklon treba pregledati zajedno s strategijom hlađenja i kontrole temperature komore. Lingheng Thermal Control Technology (Suzhou) Co., Ltd. usmjerava svoju tehničku komunikaciju na raspon temperature, toplinski opterećenje, medij, interfejse i koordinaciju kontrole tako da rasprave o toplinskoj opremi počinju radnim uvjetima, a ne generičkom specifikacijom.

Uređaj za grijanje

Prije puštanja u proizvodnju, testirajte grijana Jakna u slučaju da se radi o ograničenom vremenskom razdoblju, za svaki sustav za upravljanje se primjenjuje sljedeći sustav: U slučaju da se radi o izloženosti od otpada, mora se provjeriti da je u skladu s člankom 6. stavkom 2. Ovo je također pravo vrijeme za potvrdu da vodeni put, makljivi dijelovi i pristupne ploče ostaju u funkciji nakon što su izolacija i zaštita ugrađeni.

Za više zona industrijska grijana jakna , svaki dio pojedinačno prije procjene kombiniranog slijeda. U slučaju da se ne primjenjuje primjena ovog članka, potrebno je utvrditi razinu i vrijeme mjerenja. Ako odjeće za grijanje cijevi u slučaju da se u skladu s člankom 6. stavkom 2. točkom (a) ovog Pravilnika ne primjenjuje na proizvod, proizvođač mora upotrijebiti sljedeće metode:

Odluka Komisije

Odabir grijana Jakna za kontrolu temperature u komori za crtanje potrebno je jasno vidjeti toplinski zadatak, geometriju, zonizaciju, detekciju, sigurnost i pristup usluzi. Dobro definirana odjeće za grijanje cijevi u slučaju da se ne provjeri u skladu s člankom 6. stavkom 2. točkom (a) ili člankom 6. stavkom (b) ovog članka, to je primjenljivo samo ako je primjenjuje se primjena članka 4. stavka 1. U skladu s člankom 3. stavkom 2. točkom (a) ovog članka, za sve proizvode koji se upotrebljavaju u proizvodnji električne energije, za koje se primjenjuje članak 3. točka (a) ovog članka, primjenjuje se sljedeći standard: