Hvernig á að velja hitavöku fyrir hitastýringu etch-svæðis

Að velja hljóðvarmari að velja hitavöku fyrir etch-svæði er ekki það sama og að velja almennan hitara. Vökan verður að vera samhæfð við lögun svæðisins, hitareglurnar, stýrikerfið og öryggismat á staðnum. Viðeigandi hönnun styður jafnvægis hitamörk um tækin sem hún umlykur; hún er ekki skipting fyrir staðfestingu á heildar-svæðinu, vefjunni eða ferlisstýringunni.

Byrjið á reksturskilmálum, svo minnkið smíði og stjórnun. Þessi aðferð hjálpar tæknikynnum við búnað að koma í veg fyrir algengt vandamál: hitara sem nálgast rétta hitastig á borði en gefur ójafna svarmöguleika, er erfitt að viðhalda eða hefur samsetningarvandamál eftir uppsetningu.

Byrjið á hitaverkefninu, ekki á efni ytri hylisins

Skrifið hituþörfina í stutt kröfuskrá áður en framleiðendur eru bordir saman. Skráðu venjulegu stillipunktinn, lægsta og hæsta leyfðu hitastigin, biðtíma fyrir hitun og kælingu, umhverfisstigin og væntanlegar ferlisskilyrði. Ásamt því skal einnig skilgreina hvað hljóðvarmari hitnar í raun: vegg kassans, gasrás, klósett, hlut til afleiddrar frágangs, eða ytri hluta rásar. Þessi tilvik hafa mismunandi snertiflatarmál, tap og takmarkanir á aðgangi.

Hitabelastun þarf að fá sömu athyglinni og stjórnmarkmiðið. Leiðir sem leiða hita í ramma, festingar og nágrannarhráefni geta dregið orku frá markmiðinu. Tap af hita með geislun og samdrætti geta verið mikilvæg við opin sett hluti. Ef ferli breytir gasstraumi, ýtrun í rými eða staða umhverfisbúnaðar, geta slíkar breytingar breytt því svari sem stjórnunarstæðið sér. Af þessari ástæðu er ólíklegt að fá fullnægjandi val með því að biðja aðeins um metta vatttölu.

Skilgreindu leyfða hitabandbreiddina á stjórnuðu staðsetningunni.
Tilgreindu kólnunarupphafsskilyrði, tímaferil á hring og væntanleg áhrif.
Auðkennið allar hluta sem verða að vera neðan eigin hitamarka.
Staðfestið hvort markmiðið sé hitahald, stjórnuð hrökkun eða bæði.

Passið hitamynduna við rýmisform og hitamótflöt

Jakki getur transferað hita aðeins jafn vel og viðmót þess leyfir. Mælið ummál, beinar línur, flensyfirgöngur, opnir, klampa, steypur og útanaðkomusvæði. Innhylking sem lítur út fyrir því að vera sívalningslaga á teikningu getur haft útrýmingar sem mynda loftgápu í uppsettum staði. Þessar gápur geta minkað hitaútvekslun og gert hitamælingar minna táknsamlegar fyrir yfirborðið sem er stýrt.

Sérsniðin eða hlutskipt iðnaðar hlýtingarjakki getur verið forgjörvænari þegar búnaðurinn hefur viðhaldsdeildir, óreglulegar sniðlínur eða nokkur svæði með mismunandi hitaverkun. Valið ætti að tilgreina hvar saumarnir, festingar, leiðsluútgöngur og skynjapunktar mega vera. Það ætti líka að tilgreina hvort jakkinn verði að vera fjarlægjanlegur án þess að trufla ferlisviðtengingar. Þessar upplýsingar eru raunverulegar verkfræðiupplýsingar, ekki bara útlitsval.

Valkostur á efni byggist á raunhæfri hitastigi, umhverfi, hreinsunaraðferð og mekanískri áhrifum. Efni fyrir sveigjanlega hitaveitu eru oft tiltæk fyrir notkun við hærra hitastig, en opinberu getu efna eru ekki almennt gildandi fyrir allar hitaveituhylki. Það þarf samt að yfirfara hitaeindun, rásir, lokanir, beygjumörk, áhrif efna og heildarbyggingu í samræmi við ætlaða notkun.

Ákveða hvort eitt hitasvæði sé nógu

Eitt hitasvæði getur verið nægilegt fyrir stutt hluta með jafnri þvermálsþykkt og jafnri varmaþátttöku. Það er minna trúvert þegar byggingin inniheldur þungar flensur, greinar á rásinni, mismunandi hitaeindun eða varmasökkvar við klampanir og styttur. Í slíkum tilvikum er ráðlagt að skipta varmavandamálinu áður en hitaveitan er skipt. Íhugaðu sérstök svæði þar sem sjálfstæð mæling eða sjálfstæð justering á aflinu minnkar líkurnar á ofheitum eða ofköldum svæðum.

Ahitajakketta fyrir rör virkja sem eru settar upp nálægt etch-kambari ættu að vera metnar sem hluti af hitaleiðinni í línu, ekki sem sjálfstætt viðbótaraðgerð. Hituð lína sem er tengd köldu tengingum getur samt skapað staðbundin kuldupunkta. Öfugt, að bæta við hita án þess að hugsa um efri og neðri hluti getur fært staðsetningu á hitumörkunum í staðinn fyrir að fjarlægja hana.

Fyrir hverja tillöguða svæðisvæði skal skrá heitiloftsvæðið, búast við tapaleið, staðsetningu á skynjara, stýriúttak og aðgang að þjónustu. Þessi upplýsingar gefa stýris- og verkfræðiliðunum sameiginlegt yfirferðarsnið og gerir síðari villuleit beinara.

Flexible heating jacket fitted around semiconductor etch chamber hardware — Myndræn sýn á hitusvæði og viðhaldsvenjulega heitilofts-/jakkarheitingu.

Tilgreindu skynjun og stýringu áður en valið er stýriþáttur

Það á að nota tilfinningagjafa sem sýnir hitastig sem er mikilvægt fyrir ferlið eða úrval tækis. Tilfinningagjafi sem er settur aðeins hjá hitaeiningunni gæti verið notaður til að vernda hitaeininguna en gæti ekki gefið upplýsingar um hitastig ytri hluta rýmisins eða flæðisleiðarinnar. Aðrir tilfinningagjafar geta verið gagnlegir þegar óháð markhámark hita eða staðfestingarstaður er nauðsynlegur.

Spyrðu hvernig hljóðvarmari mun tengjast stjórnunartækinu: tegund tilfinningagjafa, lengd leiða, nálgun við jörðun, aflaupplysingu, skiptimáta, viðvörunarútgöngur og samskiptakröfur. Staðfestu hvernig villur í tilfinningagjafa, opnum rás, tap á samskiptum eða aflaupplysningartap eru meðhöndluð. Svarið á að vera samhæft við öryggisbætur tækisins og skilgreindar viðbrögð staðsetningar.

Stýringarstillingar eru einnig háðar uppbyggingu. Þykk, íslæða samsetning með háum þarmassum viðbráðir annað en þunn ytri hylki um litla rör. Í stað þess að gera ráð fyrir því að einstök PID-stilling passi við öll uppsetningar er nauðsynlegt að skipuleggja uppsetningarskref sem staðfestir stöðugleika undir tíðindum sem koma fram í raunverulegu rekstri.

Endurskoðaðu öryggi, hreinlæti og viðhaldsvenjuleika saman

Val á hálfleiðistæðiútvarpi krefst venjulega fleira en hitastigsmöguleika. Verkefnisliðið ætti að endurskoða rafvörn, jörðun, vernd, leiðbeiningu á rafleiðum, útsetningu á yfirborðshita, samhæfni efna og hegðun við bilun. SEMI S2 er algengt sem árangursmiðað viðmið fyrir umhverfi, heilsu og öryggi í framleiðslu hálfleiðistæðiútvarps. Það getur hjálpað við að skilgreina spurningar fyrir fulla endurskoðun á útvarpinu, en það er ekki sannaður staðfestingur eða vottun á því að einstakt hylki sé samhæft eða staðfest.

Hreinlæti og viðhald eru jafn mikilvæg. Tilgreinið hvort jakkinn er nálægt tómuríkisbúnaði, svæðum þar sem meðferðir eru gerðar á efni, viðkvæmum tilfinningagjörnum eða staðsetningum þar sem oft er unnið. Spyrjið hvernig hann má fjarlægja, skoða og setja aftur án þess að átaka rásir eða láta eftir isolationsfílum, rusli eða losnum festingum nálægt kistunni. Ef samsetningin verður hreinsuð, skal tilgreina leyfða hreinsunaraðferðina og efnum sem verða að standa hana.

Ekki gleyma skjölun. Góð kaupapakki getur innihaldið verkfræðiteikningu, svæðakort, rásartegund, tilfinningagjörnaspecifikation, rauntölur fyrir rafkerfi, leiðbeiningar fyrir uppsetningu og athuganir fyrir reksturshafanir. Nákvæmur innihaldur skjala er háður verkefninu, en þörfin á aðeins augljóslega tengdum viðmótum er óbreytt.

Notaðu raunhæfan framleiðandajafnburðarathugasemd

Þegar berið er saman ein iðnaðar hlýtingarjakki , biðjið framleiðendur um svar við sömu rekstrarupplýsingum í stað þess að bera saman lýsingar í vöruskrá. Þetta gerir merkilegar munstur auðveldara að sjá.

Hitamæling: Á hvaða hitastigssviði, hraða breytingar og metum tapstilviki er tillagan byggð?
Vélræn aðlögun: Hvernig hefur hönnunin tekið tillit til opna, flens, styttara, staðsetningar á skynjum og aðgangs til fjarlægðar?
Stýri-aðlögun: Hverjir skynjar, svæði, markgrönsur, viðvörunar og viðskiptaviðmót eru innifalin eða krafist?
Efni-aðlögun: Eru efni í ytri skel, þérmun, lokanir og leiðar viðeigandi fyrir staðbundin hitastig og útsetningu?
Öryggis-aðlögun: Hverjar verndarfunktsjónir og skjöl stuðla við öryggismat á tæknisstigi?
Þjónustu-aðlögun: Hvernig verður uppsetning, inspektion, skipting og endurupphaf notkunar framkvæmd?

Breyta vali í verkfræðilega afhendingu

Sterkasta valið er skjölun á ákvarðanum um viðmót, ekki einfaldlega kaup hitaveitu. Gefið aðila teikningu á stýrðum hluta, hitamálsferlið, tiltæka aflmagnið, forgjörvulegar staðsetningar fyrir tilfella, nálægum hlutum, umhverfisbundnum takmörkunum og búast við samþættingu. Í skipti því skoðið tillögu um svæðaskiptingu, festingaraðferð, útgang kabels, staðsetningu tilfalla og verndarfunktionir með verkfræðingum á sviðum vélar, rafmagns, stýringar og EHS.

Fyrir verkefni sem sameina staðbundna hitun með víðværi hitastjórnun ætti að skoða hitumantilinn ásamt kæli og hitastjórnunarstefnu rýmisins. Lingheng Thermal Control Technology (Suzhou) Co., Ltd. leggur áherslu á tæknisamskipti um hitasvið, hituálag, efni, viðskiptamál og samstillingu stjórnunar, svo að ræður um hitutæki byrji á rekstrarstöðum í stað almennum tilgreiningum.

Taka hitumantilinn í rekstur með skilgreindri samþykktaráætlun

Áður en því er gefið út í framleiðslu, prófa hljóðvarmari við áætlaðar rekstursstaðsetningar og skrá sensor gildi, stjórn úttak, viðvörunir og viðbrögð við týpískum truflunum. Staðfestu að hitarhylki hitastig og valin stjórnuð staðsetning hegði sér eins og vænt um í byrjun, jafnreiknandi rekstri og stjórnuðum stöðvun. Þetta er líka réttur tími til að staðfesta að leiðslur, aftekin hluta og aðgangsdeyri séu ennþá þjónustugæfar eftir að hitaeindunin og verndarhlutarnir eru settir upp.

Fyrir margra svæða iðnaðar hlýtingarjakki , reynið hvert svæði fyrir sig áður en sameinaður röð er metin. Skráðu hvar hitastig eru mæld og hvaða markgröður eru verndarfrekari en ferlisstjórnandi. Ef hitajakketta fyrir rör fæðir rými samsetningu, þá skal innifela tengda festingar og búast við flæðisstöðum í prófunaráætluninni; ánægjulegt mælingargildi á ytri yfirborði hylkisins einn samanstendur ekki við jafna hitaskilyrði um alla leiðina.

Ályktun

Að velja hljóðvarmari fyrir stýringu á hitastigi í rými fyrir etgingu krefst þess skýrrar yfirlits yfir hitabelastu, lögun, svæðaskipti, mælingar, öryggi og aðgang að viðhaldi. Vel skilgreindur hitajakketta fyrir rör eða jakkí á rýminu gæti stuðlað að meira stjórnuðum aðstæðum, en aðeins þegar smíði og stýring hans eru athuguð miðað við raunverulega umhverfi tæknisins. Búið til kröfuskrána fyrst, yfirfarið tengingarnar á milli sviða og notaðu gögn úr innsetningart prófun til að staðfesta lokauppsetninguna.